アイコン 関東電化工業渋川工場/小規模火災  群馬県

平成25 年11 月13 日(水)午後1 時56 分ごろ、関東電化工業渋川工場(群馬県渋川市渋川1497)構内において、工事作業中に、火災事故が発生した。

三フッ化窒素設備の工事中に配管の一部が燃えたが、速やかに消化された。三フッ化窒素設備の稼動には、配管等の改修工事や安全調査・確認などが必要であり、一定の日数を要するが、他の設備はすでに通常通り稼動している。

三フッ化窒素は、無色、有毒、無臭、不燃性、助燃性の気体。半導体製造におけるエッチング液として使われるケースなどがある。

[ 2013年11月14日 ]
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