アイコン 中国・西安発電所で爆発 サムスン半導体工場電圧低下で被害

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半導体工場は、電源が切れることや電圧低下などで大きな被害が生じる。クリーンルームなどが汚染される可能性が有り、クリーン状態への清掃によりその間一時的な生産停止が必要となる。

中国陝西省西安市の発電所で18日、爆発があり、周辺に位置するサムスン電子の半導体工場で数百億ウォンの被害が出たもよう。
18日午前0時半ごろ、西安市南郊の発電所で爆発があり、周辺が停電した。同工場は爆発があった発電所から直接電力の供給を受けているわけではないが、一時的に電圧が低下し、影響を受けた。

 サムスン電子関係者は「隣家で水道管が破裂すれば、水圧が低下するように、一部の半導体設備が電圧以上を感知し、自動的に稼働を停止した。西安工場の半導体生産能力の約10%が損傷した」と説明した。

それに伴う生産障害などを含めると、被害額は数百億ウォンになるとみられる。
 サムスン電子は、当時生産していたウエハー数千枚が影響を受けたとみて調べている。

稼働を停止した一部設備も再稼働に向けた点検作業を行っている。早ければ21日から正常稼働を再開する予定だという。

西安工場はサムスン電子が世界で唯一量産している3次元NAND型フラッシュメモリーを生産している。
同製品は、半導体を垂直に積み上げることで、記憶容量を飛躍的に向上させたのが特徴。
以上、韓国紙参照

3次元という超高精度を要する半導体、超微細チリ付着でも不良となる、3日間の停止で大丈夫だろうか。

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[ 2016年6月20日 ]

 

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